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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Predicting cluster tool behavior with slow down factors
Titel Konferenzpublikation:
Proceedings of the 2007 Winter Simulation Conference (WSC)
Untertitel Konferenzpublikation:
40 years! The best is yet to come
Konferenztitel:
Winter Simulation Conference (39., 2007, Washington, DC)
Tagungsort:
Washington, DC, USA
Jahr der Konferenz:
2007
Datum Beginn der Konferenz:
09.12.2007
Datum Ende der Konferenz:
12.12.2007
Verlegende Institution:
IEEE
Jahr:
2007
Seiten von - bis:
1755-1760
Sprache:
Englisch
ISBN:
978-1-4244-1305-8
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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