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Autoren:
Edler, Simon; Schels, Andreas; Biba, Josef; Hansch, Walter; Bachmann, Michael; Düsberg, Felix; Werber, Marinus; Langer, Christoph; Meyer, Manuel; Bergen, David von; Pahlke, Andreas
Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Titel:
Silicon field emitters fabricated by dicing-saw and wet-chemical-etching
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science & Technology B
Jahrgang:
39
Heftnummer:
1
Jahr:
2021
Seiten von - bis:
013205
Sprache:
Englisch
Article-ID:
013205
DOI:
10.1116/6.0000466
URL zum Inhalt:
https://doi.org/10.1116/6.0000466
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut:
EIT 2 - Institut für Physik
Professur:
Hansch, Walter
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
Sonstige Angaben:
Correction März 2021 unter https://doi.org/10.1116/6.0000974
BibTeX
Vorkommen:
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