Für die Verbesserung der Zuverlässigkeit eines Sensors und die Minimierung der Messabweichungen spielt die Kenntnis des Sensorzustandes eine wichtige Rolle. Dies gilt verstärkt im Zusammenhang mit der Sensorentwicklung für den Einsatz in komplexen industriellen Produktionsanlagen mit einer Vielzahl vernetzter sensorbasierter Teilsysteme (sog. cyber-physischer Systeme) [1]. Kontinuierliche Zustandsüberwachungen der Sensoren sind die Voraussetzung für eine prädiktive Wartung bzw. Instandsetzung.