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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Approximation of the cycle time of cluster tools in semiconductor manufacturing
Titel Konferenzpublikation:
IIE Annual Conference and Exhibition 2004
Untertitel Konferenzpublikation:
Conference Proceedings
Veranstalter (Körperschaft):
Institute of Industrial and Systems Engineers (IISE)
Konferenztitel:
IIE Annual Conference and Expo (54., 2004, Houston, TX)
Tagungsort:
Houston, Texas, USA
Jahr der Konferenz:
2004
Datum Beginn der Konferenz:
15.05.2004
Datum Ende der Konferenz:
19.05.2004
Verlagsort:
[Norcross, GA]
Verlegende Institution:
Institute of Industrial Engineers
Jahr:
2004
Seiten von - bis:
1
Sprache:
Englisch
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
BibTeX