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Document type:
Patent
Patent number:
WO9419832 A1
Inventor:
Lang, Walter; Kozlowski, Frank; Richter, Axel; Sauter, Martin; Steiner, Peter
Patent applicant:
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung
Title:
Plasma Generating Process and Arrangement
Parallel title:
Verfahren und Anordnung zur Plasma-Erzeugung
Country of patent application:
Japan ; USA ; Europa
Application number:
EP1994/000400
Date of patent application:
11.02.1994
Date of publication:
01.09.1994
Year:
1994
Language:
Deutsch
IPC main class:
H01L 33/34
Full text URL:
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=19940901&DB=&locale=en_EP&CC=WO&NR=9419832A1&KC=A1&ND=5#
Department:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
Institute:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
Chair:
Sauter, Martin
Miscellaneous:
Plasma Generating Process and Arrangement in Porous Silicon. WO001994019832 ; EP000000685117
Occurrences:
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