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Projektleitung:
Dr.-Ing. Stephan Zimmermann
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik 
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Projektbezeichnung:
kask_DC_EKEAPG___IOT___LPT 
Projektbeschreibung:
Das Ziel des Forschungsvorhabens besteht in der Erhöhung des Verständnisses über die Zusammenhänge, die das Plasmaverhalten im kaskadierten DC_EKEAPG beeinflussen, sowie in der Verbesserung der Prozessstabilität und Schichteigenschaften. In Anbetracht der offenen Fragestellungen im Stand der Technik werden im Rahmen dieses Projektes die folgenden Ziele angestrebt: -Erhöhung und Erweiterung des Verständnisses über das Plasmaverhalten im kaskadierten DC_EKEAPG -Entwicklung von Methoden zur...    »
 
Drittmittelgeber:
Deutsche Forschungsgemeinschaft e. V. (DFG) 
Datum Projektbeginn:
01.11.2017 
Datum Projektende:
31.10.2020