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Projektleitung:
Prof. Markus Klein
Institut:
LRT 1 - Institut für Mathematik und Rechneranwendung 
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik 
Projektbezeichnung:
Geometrieabgleich 
Projektbeschreibung:
Zur Untersuchung der Partikelkontamination in einer Optik wurden Vergleichsrechnungen an der 1:5 skalierten 3300 Optik sowie an einem Vollmodell durchgeführt. Dabei wurden nennenswerte Unterschiede im Druckniveau auf dem Strömungsverlauf unter der Maske festgestellt. Ein vorläufiger Vergleich hat bislang 3 mögliche Ursachen offenbart. Deren möglicher Einfluss soll in 3 Arbeitspaketen untersucht werden. 
Drittmittelgeber:
Carl Zeiss SMT GmbH 
Datum Projektbeginn:
08.08.2017 
Datum Projektende:
08.02.2018