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- Autorinnen/Autoren:
- Litzenberger, Martin; Fürböck, Christoph; Pogany, Dionýz; Gornik, Erich; Esmark, Kai; Groos, Gerhard; Stecher, Matthias
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag / Conference Paper
- Titel:
- Study of trigger homogeneity in ESD protection devices using backside laser interferometry
- Titel Konferenzpublikation:
- Informationstagung Mikroelektronik (ME)
- Untertitel Konferenzpublikation:
- Wien; 10.10.2001 - 11.10.2001
- Konferenztitel:
- Informationstagung Mikroelektronik (2001, Wien)
- Tagungsort:
- Wien
- Jahr der Konferenz:
- 2001
- Datum Beginn der Konferenz:
- 10.10.2001
- Datum Ende der Konferenz:
- 11.10.2001
- Jahr:
- 2001
- Sprache:
- Englisch
- Fakultät:
- Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
- Institut:
- ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
- Professorin/Professor:
- Groos, Gerhard
- Open Access:
- Nein / No
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