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- Authors:
- Litzenberger, Martin; Fürböck, Christoph; Pogany, Dionýz; Gornik, Erich; Esmark, Kai; Groos, Gerhard; Stecher, Matthias
- Document type:
- Konferenzbeitrag / Conference Paper
- Title:
- Study of trigger homogeneity in ESD protection devices using backside laser interferometry
- Title of conference publication:
- Informationstagung Mikroelektronik (ME)
- Subtitle of conference publication:
- Wien; 10.10.2001 - 11.10.2001
- Conference title:
- Informationstagung Mikroelektronik (2001, Wien)
- Venue:
- Wien
- Year of conference:
- 2001
- Date of conference beginning:
- 10.10.2001
- Date of conference ending:
- 11.10.2001
- Year:
- 2001
- Language:
- Englisch
- Department:
- Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
- Institute:
- ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
- Chair:
- Groos, Gerhard
- Open Access yes or no?:
- Nein / No
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