Universität der Bundeswehr München: AtheneForschung
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Document type:
Patent 
Patent number:
WO9419832 A1 
Inventor:
Lang, Walter; Kozlowski, Frank; Richter, Axel; Sauter, Martin; Steiner, Peter 
Patent applicant:
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung 
Title:
Plasma Generating Process and Arrangement 
Parallel title:
Verfahren und Anordnung zur Plasma-Erzeugung 
Country of patent application:
Japan ; USA ; Europa 
Application number:
EP1994/000400 
Date of patent application:
11.02.1994 
Date of publication:
01.09.1994 
Year:
1994 
Language:
Deutsch 
IPC main class:
H01L 33/34 
Department:
Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik 
Institute:
ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik 
Chair:
Sauter, Martin 
Miscellaneous:
Plasma Generating Process and Arrangement in Porous Silicon. WO001994019832 ; EP000000685117