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Authors:
Breuer, Janis; Bachmann, Michael; Düsberg, Felix; Pahlke, Andreas; Edler, Simon; Langer, Christoph; Prommesberger, Christian; Ławrowski, Robert Damian; Schreiner, Rupert; Serbun, Pavel; Lützenkirchen-Hecht, Dirk 
Document type:
Zeitschriftenartikel / Journal Article 
Title:
Extraction of the current distribution out of saturated integral measurement data of p-type silicon field emitter arrays 
Journal:
Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics 
Volume:
36 
Issue:
Year:
2018 
Language:
Englisch 
ISSN:
2166-2746 
Department:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Institute:
EIT 2 - Institut für Physik 
Chair:
Düsberg, Georg 
Open Access yes or no?:
Nein / No