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Authors:

Edler, Simon; Schels, Andreas; Biba, Josef; Hansch, Walter; Bachmann, Michael; Düsberg, Felix; Werber, Marinus; Langer, Christoph; Meyer, Manuel; Bergen, David von; Pahlke, Andreas

Document type:

Zeitschriftenartikel / Journal Article

Title:

Silicon field emitters fabricated by dicing-saw and wet-chemical-etching

Journal:

Journal of Vacuum Science & Technology B

Volume:

Issue:

Year:

2021

Pages from - to:

013205

Language:

Englisch

Article ID:

013205

DOI:

10.1116/6.0000466

URL:

https://doi.org/10.1116/6.0000466

Department:

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Institute:

EIT 2 - Institut für Physik

Chair:

Hansch, Walter

Open Access yes or no?:

Nein / No

Miscellaneous:

Correction März 2021 unter https://doi.org/10.1116/6.0000974

BibTeX

Occurrences:

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