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Autor:
Knittel, Thorsten
Originaltitel:
Stabilisierung von Sensoren auf der Basis gassensitiver FETs
Jahr:
2005
Typ:
Dissertation
Einrichtung:
Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Betreuer:
Eisele, Ignaz, Prof. Dr. rer. nat.
Gutachter:
Eisele, Ignaz, Prof. Dr.; Meixner, Hans, Prof. Dr.
Format:
PDF
Sprache:
Deutsch
Schlagworte:
Gassensor ; Feldeffekttransistor
Stichworte:
Gassensor, Sensor, FET, FGFET, GasFET, Feldeffekttransistor, Stabilisierung
Kurzfassung:
Die Arbeit behandelt die Stabilisierung von Gassensoren auf Basis gassensitiver Feldeffekttransistoren (FET). Im Mittelpunkt steht die Auswirkungen der Umweltgrössen: Feuchte, Temperatur und Quergase. Ziel war es die Auswirkungen dieser Umweltgrößen auf das Sensorsignal zu minimieren. Hierzu wurden neben neuen sensitiven Schichtsystemen auch Passivierungen und eine spezielle Auswerteelektronik entwickelt. Abschliessend wurden mit den hergestellten Sensorprototypen mehrere Feldstudien mit positiv... »
Tag der mündlichen Prüfung:
30.11.2005
Eingestellt am:
17.03.2009
Ort:
Neubiberg
BibTeX