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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
LARGE-A torch to determine and model plasma physics and behavior for CVD process applications
Titel Konferenzpublikation:
2008 IEEE 35th International Conference on Plasma Science
Konferenztitel:
IEEE International Conference on Plasma Science (35., 2008, Karlsruhe)
Tagungsort:
Karlsruhe, Germany
Jahr der Konferenz:
2008
Datum Beginn der Konferenz:
15.06.2008
Datum Ende der Konferenz:
19.06.2008
Verlagsort:
Piscataway, NJ
Verlag:
IEEE
Jahr:
2008
Sprache:
Englisch
ISBN:
978-1-4244-1929-6
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut:
EIT 1 - Institut für Plasmatechnik und Mathematik
Professur:
Schein, Jochen
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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