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Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Titel:
Silicon field emitters fabricated by dicing-saw and wet-chemical-etching
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science & Technology B
Jahrgang:
39
Heftnummer:
1
Jahr:
2021
Seiten von - bis:
013205
Sprache:
Englisch
Article-ID:
013205
DOI:
URL zum Inhalt:
Fakultät:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Institut:
EIT 2 - Institut für Physik
Professur:
Hansch, Walter
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
Sonstige Angaben:
Correction März 2021 unter https://doi.org/10.1116/6.0000974
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