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Autoren:

Breuer, Janis; Bachmann, Michael; Düsberg, Felix; Pahlke, Andreas; Edler, Simon; Langer, Christoph; Prommesberger, Christian; Ławrowski, Robert Damian; Schreiner, Rupert; Serbun, Pavel; Lützenkirchen-Hecht, Dirk

Dokumenttyp:

Zeitschriftenartikel / Journal Article

Titel:

Extraction of the current distribution out of saturated integral measurement data of p-type silicon field emitter arrays

Zeitschrift:

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics

Jahrgang:

Heftnummer:

Jahr:

2018

Sprache:

Englisch

ISSN:

2166-2746

DOI:

10.1116/1.5035189

URL zum Inhalt:

https://doi.org/10.1116/1.5035189

Fakultät:

Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

Institut:

EIT 2 - Institut für Physik

Professur:

Düsberg, Georg

Open Access ja oder nein?:

Nein / No

BibTeX

Vorkommen:

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