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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Simulation analysis of semiconductor manufacturing with small lot size and batch tool replacements
Titel Sammlung:
Proceedings of the 40th Conference on Winter Simulation
Konferenztitel:
Winter Simulation Conference (40., 2008, Miami, FL)
Tagungsort:
Miami, Fl
Jahr der Konferenz:
2008
Datum Beginn der Konferenz:
07.12.2008
Datum Ende der Konferenz:
10.12.2008
Jahr:
2008
Seiten von - bis:
2118-2126
Sprache:
Englisch
ISBN:
978-1-4244-2708-6
URL zum Inhalt:
BibTeX