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Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Titel:
Quantitative elastic recoil detection (ERD)
Zeitschrift:
Fresenius' Journal of Analytical Chemistry
Jahrgang:
353
Heftnummer:
5-8
Jahr:
1995
Seiten von - bis:
582-584
Sprache:
Englisch
Stichwörter:
Algorithms ; Impurities ; Thin films ; Concentration distribution ; Depth profiles ; Elastic collision ; Quantitative chemical analysis ; Recoil effect ; Rutherford scattering ; Surface analysis ; Spectroscopic analysis
Abstract:
Elastic recoil detection with heavy ions is a well suited method to measure depth profiles of light and medium heavy elements in thin films. Due to known Rutherford scattering cross sections and stopping powers of ions in matter, measurements can be quantified with an accuracy of about 1
ISSN:
0937-0633
DOI:
URL zum Inhalt:
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik
Institut:
LRT 2 - Institut für angewandte Physik und Messtechnik
Professur:
Dollinger, Günther
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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