Login
Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
High resolution depth profiling of light elements in silicon nanostructures utilizing elastic recoil detection (ERD)
Titel Konferenzpublikation:
3rd Workshop on Innovative Circuits and Systems for Nanoelectronics, Nano-EL 98, München 1998, Proceedings
Konferenztitel:
Workshop on Innovative Circuits and Systems for Nanoelectronics (3., 1998, München)
Konferenztitel:
Nano-El ´98
Tagungsort:
München
Jahr der Konferenz:
1998
Verlagsort:
Munich, Germany
Jahr:
1998
Seiten von - bis:
A4-1
Sprache:
Englisch
Article-ID:
A4-1
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik
Institut:
LRT 2 - Institut für angewandte Physik und Messtechnik
Professur:
Dollinger, Günther
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
BibTeX