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- Autorinnen/Autoren:
- Dubec, Viktor; Bychikhin, Sergey; Pogany, Dionýz; Gornik, Erich; Groos, Gerhard; Stecher, Matthias
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag / Conference Paper
- Titel:
- Error analysis in phase extraction in a 2D holographic imaging of semiconductor devices
- Herausgebende Sammelband:
- Jeong, Tung H.; Bjelkhagen, Hans I.
- Titel Konferenzpublikation:
- Practical Holography XVIII
- Untertitel Konferenzpublikation:
- Materials and Applications
- Serie/Reihe:
- Proceedings SPIE
- Band:
- 5290
- Konferenztitel:
- Electronic Imaging (2004, San Jose, CA); IS&T/SPIE Annual Symposium on Electronic Imaging (16., 2004, San Jose, CA)
- Tagungsort:
- San Jose, CA, USA
- Jahr der Konferenz:
- 2004
- Datum Beginn der Konferenz:
- 18.01.2004
- Datum Ende der Konferenz:
- 22.01.2004
- Jahr:
- 2004
- Seitenbereich:
- 233-242
- Sprache:
- Englisch
- DOI:
- 10.1117/12.526551
- URL zum Inhalt:
- https://doi.org/10.1117/12.526551
- Fakultät:
- Fakultät für Elektrotechnik und Technische Informatik
- Institut:
- ETTI 1 - Institut für Physik, Elektrotechnik und Automatisierungstechnik
- Professorin/Professor:
- Groos, Gerhard
- Open Access:
- Nein / No
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