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Dokumenttyp:
Zeitschriftenartikel / Journal Article
Titel:
Hydrogen incorporation during nucleation and growth of c-BN films
Zeitschrift:
Diamond and Related Materials
Jahrgang:
5
Heftnummer:
9
Jahr:
1996
Seiten von - bis:
984-989
Sprache:
Englisch
Stichwörter:
c-BN growth ; c-BN nucleation ; ERD measurements ; Hydrogen incorporation
Abstract:
The hydrogen content of BN films deposited by the ICP plasma method from trimethyl borazine and N2 has been investigated integrally and spatially resolved by elastic recoil detection. Hydrogen contents between 15
ISSN:
0925-9635
Fakultät:
Fakultät für Luft- und Raumfahrttechnik
Institut:
LRT 2 - Institut für angewandte Physik und Messtechnik
Professur:
Dollinger, Günther
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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