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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag / Conference Paper
Titel:
Implementation of a Simulation-Based Optimizer for Semiconductor Wafer Factories
Titel Konferenzpublikation:
ETFA'06
Untertitel Konferenzpublikation:
IEEE Conference on Emerging Technologies and Factory Automation, 2006
Konferenztitel:
IEEE Conference on Emerging Technologies and Factory Automation (2006, Prag)
Tagungsort:
Prague, Czech Republic
Jahr der Konferenz:
2006
Datum Beginn der Konferenz:
20.09.2006
Datum Ende der Konferenz:
22.09.2006
Verlegende Institution:
IEEE
Jahr:
2006
Seiten von - bis:
943-949
Sprache:
Englisch
ISBN:
0-7803-9758-4
Open Access ja oder nein?:
Nein / No
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