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Autor:
Schmidt, Matthias 
Originaltitel:
Neuartige Metallelektroden und Dielektrika für die MOS--Technologie 
Jahr:
2005 
Typ:
Dissertation 
Einrichtung:
Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik 
Betreuer:
Eisele, Ignaz, Prof. Dr. rer. nat. 
Gutachter:
Eisele, Ignaz, Prof. Dr. rer. nat.; Hansch, Walter, Prof. Dr.-Ing. 
Format:
PDF 
Sprache:
Deutsch 
Schlagworte:
MOS ; Gate ; Niob ; Niobnitride ; Dielektrikum ; Siliciumdioxid 
Stichworte:
Metallelektrode, Traps, Dielektrika, Niob, Niobnitrid 
Übersetzte Stichworte:
Metal Gate, High-K, Traps, Niobium, Niobiumnitrid 
Kurzfassung:
Im Rahmen dieser Arbeit wurden zum ersten Mal Niob und Niobnitrid Metallelektroden in MOS-Bauelemente mit SiO2- und High-K-Dielektrika integriert. Beide Materialien zeichnen sich durch einen niedirigen Schichtwiderstand aus. Es konnte gezeigt werden, daß Niobnitrid eine andere Austrittsarbeit als Niob besitzt und sich die Austrittsarbeiten beider Materialien in der Nähe von Midgap befinden. Von besonderer Bedeutung ist das inerte Verhalten von Niobnitrid. Im Gegensatz zu Niob erzeugt Niobnitrid...    »
 
Tag der mündlichen Prüfung:
22.12.2005 
Eingestellt am:
01.04.2009 
Ort:
Neubiberg 
Vorname (Autor):
Matthias 
Nachname (Autor):
Schmidt