Es werden erstmals gassensitive Sensorarrays mit heterogenen Detektionsmaterialien und Feldeffekttransistoren als Transducer entwickelt und am Applikationsbeispiel der Brandgasdetektion untersucht. Die Integration mehrerer Feldeffekttransistoren und unterschiedlicher sensitiver Schichten im hybriden Aufbau ergibt eine Ein-Chip-Lösung, welche den Anforderungen des niedrigen Energiebedarfs, d.h. Detektion im ungeheizten Betrieb bei Raumtemperatur, gerecht wird. Das der Gasdetektion zugrunde liegende Prinzip des Sensorsystems basiert auf der Austrittsarbeitsänderung durch Gasadsorption an sensitiven Schichten. Bei den ausgewählten sensitiven Schichten handelt es sich sowohl um Dickschichten als auch um Dünnschichten. Sie entstammen den verschiedenen chemischen Materialgruppen der metallischen Leiter, der Metalloxide (Halbleiter) und der organischen Polymere (Isolatoren). Die charakteristischen Brandgase können im Laborversuch identifiziert und unter realen Brandversuchsbedingungen qualitativ unterschieden werden.     «

Es werden erstmals gassensitive Sensorarrays mit heterogenen Detektionsmaterialien und Feldeffekttransistoren als Transducer entwickelt und am Applikationsbeispiel der Brandgasdetektion untersucht. Die Integration mehrerer Feldeffekttransistoren und unterschiedlicher sensitiver Schichten im hybriden Aufbau ergibt eine Ein-Chip-Lösung, welche den Anforderungen des niedrigen Energiebedarfs, d.h. Detektion im ungeheizten Betrieb bei Raumtemperatur, gerecht wird. Das der Gasdetektion zugrunde liegen...     »

For the first time gas sensitive arrays with various films based on field effective transistors are developed. Populated with the number of five sensors integrated within a single chip the array is suitable for the detection of different gases at room temperature. As an example the performance as a smoke detector is evaluated. The mechanism for the gas adsorption is based on the change of the work function. The chosen sensitive layers belong to different chemical material groups: metals, metal oxides (semiconductors) and organic polymers (isolators). They are processed in thick or thin film techniques. The characteristic fire gases can be identified in laboratory measurements. They are distinguished qualitatively in field tests under real life conditions.     «

For the first time gas sensitive arrays with various films based on field effective transistors are developed. Populated with the number of five sensors integrated within a single chip the array is suitable for the detection of different gases at room temperature. As an example the performance as a smoke detector is evaluated. The mechanism for the gas adsorption is based on the change of the work function. The chosen sensitive layers belong to different chemical material groups: metals, metal o...     »