Es werden erstmals gassensitive Sensorarrays mit heterogenen Detektionsmaterialien und Feldeffekttransistoren als Transducer entwickelt und am Applikationsbeispiel der Brandgasdetektion untersucht. Die Integration mehrerer Feldeffekttransistoren und unterschiedlicher sensitiver Schichten im hybriden Aufbau ergibt eine Ein-Chip-Lösung, welche den Anforderungen des niedrigen Energiebedarfs, d.h. Detektion im ungeheizten Betrieb bei Raumtemperatur, gerecht wird. Das der Gasdetektion zugrunde liegende Prinzip des Sensorsystems basiert auf der Austrittsarbeitsänderung durch Gasadsorption an sensitiven Schichten. Bei den ausgewählten sensitiven Schichten handelt es sich sowohl um Dickschichten als auch um Dünnschichten. Sie entstammen den verschiedenen chemischen Materialgruppen der metallischen Leiter, der Metalloxide (Halbleiter) und der organischen Polymere (Isolatoren). Die charakteristischen Brandgase können im Laborversuch identifiziert und unter realen Brandversuchsbedingungen qualitativ unterschieden werden.    «

Es werden erstmals gassensitive Sensorarrays mit heterogenen Detektionsmaterialien und Feldeffekttransistoren als Transducer entwickelt und am Applikationsbeispiel der Brandgasdetektion untersucht. Die Integration mehrerer Feldeffekttransistoren und unterschiedlicher sensitiver Schichten im hybriden Aufbau ergibt eine Ein-Chip-Lösung, welche den Anforderungen des niedrigen Energiebedarfs, d.h. Detektion im ungeheizten Betrieb bei Raumtemperatur, gerecht wird. Das der Gasdetektion zugrunde liegen...    »